ടെഫ്ലോൺ കോട്ടഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ - സെൻസിറ്റീവ് വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള നോൺ-സ്റ്റിക്ക് സർഫസ്

സെന്റ്.സെറയുടെ ടെഫ്ലോൺ (PTFE) പൂശിയ സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ ഉയർന്ന ശക്തിയുള്ള അലുമിന സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിനെ ഒരു ഏകീകൃത, കുറഞ്ഞ ഘർഷണ PTFE കോട്ടിംഗുമായി (കനം 15–30 μm) സംയോജിപ്പിക്കുന്നു. കോട്ടിംഗ് വളരെ കുറഞ്ഞ ഘർഷണ ഗുണകം (≤0.1), മികച്ച രാസ പ്രതിരോധം, നോൺ-സ്റ്റിക്ക് ഗുണങ്ങൾ എന്നിവ നൽകുന്നു, ഇത് വേഫർ അഡീഷൻ തടയുകയും പിൻഭാഗത്തെ മലിനീകരണം ഇല്ലാതാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. അടിസ്ഥാന സെറാമിക് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് (99.8% Al₂O₃) ഉയർന്ന വഴക്കമുള്ള ശക്തി (361–1000 MPa), വസ്ത്ര പ്രതിരോധം, 260°C വരെ താപ സ്ഥിരത (കോട്ടിംഗ് പരിധി) എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ഈ എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ അതിലോലമായ, നേർത്ത അല്ലെങ്കിൽ സ്റ്റിക്കി വേഫറുകൾ കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ അനുയോജ്യമാണ് (ഉദാഹരണത്തിന്, ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് കോട്ടിംഗിന് ശേഷമോ രാസ പ്രക്രിയകൾക്കോ ​​ശേഷം).

സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ (PTFE കോട്ടിംഗുള്ള 99.8% Al₂O₃ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിനെ അടിസ്ഥാനമാക്കി):

കുറിപ്പ്: PTFE കോട്ടിംഗ് പരമാവധി താപനില 260°C ആയി പരിമിതപ്പെടുത്തുന്നു; ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക്, പൂശാത്ത സെറാമിക് അല്ലെങ്കിൽ മറ്റ് കോട്ടിംഗുകൾ പരിഗണിക്കുക.

അപേക്ഷകൾ:

• · ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് കോട്ടിംഗിന് ശേഷം വേഫറുകൾ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ (സ്റ്റിക്കി പ്രതലങ്ങൾ)
• · നേർത്തതോ ദുർബലമോ ആയ വേഫറുകളുടെ കൈമാറ്റം (പറ്റിനിൽക്കുന്നത് തടയുന്നു)
• · സെമികണ്ടക്ടർ പരിശോധനയും മെട്രോളജി ഉപകരണങ്ങളും
• · കണികാ മലിനീകരണം കുറയ്ക്കേണ്ട ക്ലീൻറൂം ഓട്ടോമേഷൻ

നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ:

സെറാമിക് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് സിന്റർ ചെയ്‌തതും കൃത്യതയുള്ളതുമായ ഗ്രൗണ്ട് → ഉപരിതല റഫണിംഗ് (പ്ലാസ്മ എച്ച് അല്ലെങ്കിൽ ഗ്രിറ്റ് ബ്ലാസ്റ്റ്) → PTFE സ്പ്രേ കോട്ടിംഗ് → 380°C-ൽ ചൂട് ക്യൂറിംഗ് → അന്തിമ പരിശോധന. ഓരോ എൻഡ് ഇഫക്റ്ററും കോട്ടിംഗ് കനം (എഡ്ഡി കറന്റ്), അഡീഷൻ (ക്രോസ്-കട്ട് ടെസ്റ്റ് ASTM D3359), ഘർഷണ ഗുണകം എന്നിവയ്ക്കായി പരിശോധിക്കുന്നു.

ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണം:

പിൻഹോളുകൾക്കോ ​​കുമിളകൾക്കോ ​​100% ദൃശ്യ പരിശോധന; ±5 μm-നുള്ളിൽ കോട്ടിംഗ് കനം ഏകീകൃതത; വിറ്റ്നസ് കൂപ്പണിൽ 90° ബെൻഡ് ടെസ്റ്റിന് ശേഷം ഡീലാമിനേഷൻ ഇല്ല. OEM ടോളറൻസിലേക്കുള്ള ഡൈമൻഷണൽ പരിശോധന (നീളം ±0.05 mm, പരന്നത ≤0.1 mm).

അൺകോട്ട് ചെയ്തതോ മറ്റ് കോട്ടിംഗുകളെക്കാളും ഗുണങ്ങൾ:

• · നോൺ-സ്റ്റിക്ക് പ്രതലം വേഫർ ഒട്ടിപ്പിടിക്കൽ, പൊട്ടൽ എന്നിവ തടയുന്നു.
• · സെറാമിക് കോട്ടിംഗുകളിൽ ഏറ്റവും കുറഞ്ഞ ഘർഷണ ഗുണകം
• · മികച്ച രാസ പ്രതിരോധം (ആസിഡുകൾ, ബേസുകൾ, ലായകങ്ങൾ)
• · മെറ്റീരിയൽ കൈമാറ്റം തടയുന്നതിലൂടെ കണിക ഉത്പാദനം കുറയ്ക്കുന്നു

പരിമിതികൾ (സാരവത്തായ വ്യതിയാനത്തെക്കുറിച്ചുള്ള പരാമർശങ്ങൾ):

നൽകിയിരിക്കുന്ന മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടി ടേബിളുകളിൽ (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) നിന്ന് PTFE കോട്ടിംഗ് ഉരുത്തിരിഞ്ഞതല്ല. സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് പ്രോപ്പർട്ടികൾ നൽകിയിരിക്കുന്ന ഡാറ്റാഷീറ്റ് (99.8% Al₂O₃) കർശനമായി പാലിക്കുന്നു. കോട്ടിംഗ് ഡാറ്റ നൽകിയിട്ടില്ലാത്തതിനാൽ, കോട്ടിംഗ് പ്രോപ്പർട്ടികൾ വ്യവസായ-നിലവാരമുള്ള PTFE സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്. 260°C കവിയുന്ന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക്, ഒരു അൺകോട്ട് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ ശുപാർശ ചെയ്യുന്നു.*

ഇഷ്‌ടാനുസൃതമാക്കൽ:

150–1500 മില്ലീമീറ്റർ നീളം, ടിപ്പ് ആകൃതികൾ (എഡ്ജ് ഗ്രിപ്പ്, ബെർണൂലി, ഫ്ലാറ്റ്), OEM ഡ്രോയിംഗ് അനുസരിച്ച് മൗണ്ടിംഗ് ഫ്ലേഞ്ച് പാറ്റേണുകൾ എന്നിവയിൽ ലഭ്യമാണ്. ഭാഗിക കോട്ടിംഗ് (സമ്പർക്ക പ്രദേശങ്ങൾ മാത്രം) അല്ലെങ്കിൽ പൂർണ്ണ കവറേജ് ഓപ്ഷണൽ.

അഡീഷൻ, ഘർഷണ പരിശോധനയ്ക്കായി ഒരു സാമ്പിൾ അഭ്യർത്ഥിക്കുക.