ഫിസിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ സിസ്റ്റങ്ങൾക്കുള്ള അലുമിന പിവിഡി ഇൻസുലേഷൻ റിംഗ്

ഭൗതിക നീരാവി നിക്ഷേപം (PVD) സിസ്റ്റങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിനായി 99.8% ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിന (Al₂O₃) കൊണ്ടാണ് സെന്റ് സെറയുടെ PVD ഇൻസുലേഷൻ മോതിരം നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്. ചേമ്പർ ഘടകങ്ങൾക്കിടയിൽ വൈദ്യുത ഒറ്റപ്പെടൽ നൽകുന്ന ഈ മോതിരം, ആർക്കിംഗ് തടയുകയും സ്ഥിരതയുള്ള പ്ലാസ്മ പ്രവർത്തനം ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഉയർന്ന ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി (15×10⁶ V/m), നിർദ്ദിഷ്ട പ്രതിരോധം >10¹⁴ Ω·mm²/m, 1600°C വരെ താപ സ്ഥിരത എന്നിവ പ്രധാന ഗുണങ്ങളിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. ഞങ്ങളുടെ കൃത്യതയുള്ള മെഷീനിംഗ് കഴിവുകൾ 600mm വരെ പുറം വ്യാസം, 0.2mm വരെ അകത്തെ വ്യാസം, 0.003mm പരന്നത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra0.1 എന്നിവ കൈവരിക്കുന്നു. ആക്രമണാത്മകമായ സ്പട്ടറിംഗ് പരിതസ്ഥിതികളിൽ മോതിരത്തിന്റെ പൂജ്യം പോറോസിറ്റിയും കെമിക്കൽ നിഷ്ക്രിയത്വവും ദീർഘകാല വിശ്വാസ്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു.

സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ (99.8% Al അടിസ്ഥാനമാക്കി)�O₃& സെന്റ്.സെറ നിർമ്മാണ ശേഷികൾ):

അപേക്ഷകൾ:

• · പിവിഡി സിസ്റ്റങ്ങളിലെ ടാർഗെറ്റ് ബാക്കിംഗ് പ്ലേറ്റ് ഇൻസുലേറ്ററുകൾ
• · ചേംബർ ഫീഡ്‌ത്രൂ ഇൻസുലേറ്ററുകൾ
• · സ്പട്ടറിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങളിലെ ഷീൽഡ് റിംഗ് ഇൻസുലേറ്ററുകൾ
• · പ്ലാസ്മ ചേമ്പറുകളിൽ ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് ഒറ്റപ്പെടൽ

നിർമ്മാണ കൃത്യത:

കോൺസെൻട്രിസിറ്റി: 0.01mm, വൃത്താകൃതി: 0.002mm, നേരായത്: 0.005mm, ലംബത: 0.005mm, CMM പരിശോധിച്ചുറപ്പിച്ചത്.

Aപോളിമർ ഇൻസുലേറ്ററുകളേക്കാൾ ഗുണങ്ങൾ:

• · പോളിമറിന്റെ <300°C പരിധിയേക്കാൾ 1600°C താപനിലയെ നേരിടുന്നു
• · വാതകം പുറത്തുവിടുന്നില്ല - വാക്വം സമഗ്രത നിലനിർത്തുന്നു
• · പ്ലാസ്മ മണ്ണൊലിപ്പിനെയും രാസ ആക്രമണത്തെയും പ്രതിരോധിക്കുന്നു

ഇഷ്‌ടാനുസൃതമാക്കൽ:

ഇഷ്ടാനുസൃത ക്രോസ്-സെക്ഷനുകൾ, മൗണ്ടിംഗ് സവിശേഷതകൾ, സ്റ്റെപ്പ് പ്രൊഫൈലുകൾ, ഒന്നിലധികം കോൺസെൻട്രിക് റിംഗ് ഡിസൈനുകൾ എന്നിവ ലഭ്യമാണ്.