പ്രിസിഷൻ ഡൈസിംഗിനും ഗ്രൈൻഡിംഗിനുമുള്ള അലുമിന വാക്വം ചക്ക്
സെന്റ്.സെറയുടെ അലുമിന വാക്വം ചക്ക് 99.8% ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി Al₂O₃ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, പ്രിസിഷൻ-മെഷീൻ ചെയ്ത വാക്വം ഗ്രൂവുകൾ ഉപയോഗിച്ചാണ് ഇത് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്. ഞങ്ങളുടെ പ്രിസിഷൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ് കഴിവ് 0.003mm ഫ്ലാറ്റ്നെസും 0.002mm പാരലലിസവും കൈവരിക്കുന്നു, ഇത് ഡൈസിംഗ്, ബാക്ക്സൈഡ് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, പരിശോധന എന്നിവയ്ക്കിടെ വാർപ്പ്-ഫ്രീ വേഫർ ഫിക്സേഷൻ ഉറപ്പാക്കുന്നു. മെറ്റീരിയൽ ഉയർന്ന ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി (361 MPa), കാഠിന്യം (16 GPa), 800°C വരെ താപ സ്ഥിരത എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. 600mm പുറം വ്യാസം (OD) വരെ വൃത്താകൃതിയിലുള്ള ഫോർമാറ്റുകളിലും 1500mm വരെ നീളമുള്ള ചതുരാകൃതിയിലുള്ള ആകൃതികളിലും ലഭ്യമാണ്. നിർദ്ദിഷ്ട പ്രോസസ്സ് ആവശ്യകതകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ രീതിയിൽ വാക്വം ഗ്രൂവുകൾ ഇഷ്ടാനുസൃതമായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിട്ടുള്ളതാണ് (കോൺസെൻട്രിക്, റേഡിയൽ അല്ലെങ്കിൽ ഗ്രിഡ് പാറ്റേണുകൾ). ഓരോ ചക്കും ലേസർ ഇന്റർഫെറോമീറ്റർ ഉപയോഗിച്ച് പരിശോധിക്കുകയും ഫ്ലാറ്റ്നെസ് വെരിഫിക്കേഷൻ റിപ്പോർട്ട് നൽകുകയും ചെയ്യുന്നു.
സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ (99.8% Al അടിസ്ഥാനമാക്കി)�O₃& സെന്റ്.സെറ നിർമ്മാണ ശേഷികൾ):
| പ്രോപ്പർട്ടി | വില |
| മെറ്റീരിയൽ | 99.8% അലുമിന (ഐവറി) |
| സാന്ദ്രത | 3.93 ഗ്രാം/സെ.മീ³ |
| വഴക്കമുള്ള ശക്തി | 361 എം.പി.എ. |
| വിക്കേഴ്സ് കാഠിന്യം | 16 ജിപിഎ |
| പുറം വ്യാസം (പരമാവധി) | 600 മി.മീ |
| കനം (പരമാവധി) | 100 മി.മീ |
| നീളം (പരമാവധി) | 1500 മി.മീ |
| പരന്നത | 0.003 മി.മീ |
| സമാന്തരത്വം | 0.002 മി.മീ |
| ഉപരിതല ഫിനിഷ് | റാ0.1 |
| പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില | 800°C താപനില |
അപേക്ഷകൾ:
- · വേഫർ ഡൈസിംഗും സ്ക്രൈബിംഗും (200mm/300mm ഉം അതിൽ കൂടുതലും)
- · നേർത്ത വേഫറുകളുടെ പിൻഭാഗം പൊടിക്കൽ
- · ഒപ്റ്റിക്കൽ പരിശോധനയും അന്വേഷണവും
- · വലിയ അടിവസ്ത്ര കൈകാര്യം ചെയ്യൽ
നിർമ്മാണ കൃത്യത:
- · നേരായത്: 0.005 മിമി
- · ലംബത: 0.005 മിമി
- · വൃത്താകൃതി: 0.002 മിമി
- · കോൺസെൻട്രിസിറ്റി: 0.01 മിമി








