സെമികണ്ടക്ടർ ഫിക്ചറുകൾക്കുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന സെറാമിക് കോർ
സെന്റ് സെറയുടെ അലുമിന സെറാമിക് കോർ 99.8% ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള Al₂O₃ യിൽ നിന്ന് രൂപപ്പെടുത്തിയ കൃത്യതയുള്ളതാണ്, ഇത് അസാധാരണമായ ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി (15×10⁶ V/m), 1600°C വരെ താപ സ്ഥിരത, ലോഡിന് കീഴിലുള്ള ക്രീപ്പ് പ്രതിരോധം എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള പ്രോസസ് ഫിക്ചറുകൾ, ഹീറ്റർ ബേസുകൾ, പ്ലാസ്മ ചേമ്പർ ലൈനറുകൾ, ഇലക്ട്രിക്കൽ ഇൻസുലേറ്ററുകൾ എന്നിവയിൽ ഈ കോറുകൾ ഘടനാപരമായ ഘടകങ്ങളായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. മെറ്റീരിയലിന്റെ ഉയർന്ന കാഠിന്യം (16 GPa) കുറഞ്ഞ ജല ആഗിരണം (0%) കഠിനമായ ചുറ്റുപാടുകളിൽ ദീർഘകാല വിശ്വാസ്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു.
സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ(99.8% Al അടിസ്ഥാനമാക്കി�O₃):
| പ്രോപ്പർട്ടി | വില |
| മെറ്റീരിയൽ | 99.8% അലുമിന (ഐവറി) |
| സാന്ദ്രത | 3.93 ഗ്രാം/സെ.മീ³ |
| വഴക്കമുള്ള ശക്തി | 361 എം.പി.എ. |
| ഒടിവിന്റെ കാഠിന്യം | 3–4 MPa·m¹/² |
| വിക്കേഴ്സ് കാഠിന്യം | 16 ജിപിഎ |
| യങ്ങിന്റെ മോഡുലസ് | 380 ജിപിഎ |
| താപ ചാലകത | 32 വാട്ട്/മീറ്റർ · കി.മീ. |
| താപ വികാസം (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ഡൈലെക്ട്രിക് ശക്തി | 15×10⁶ വി/മീറ്റർ |
| പ്രത്യേക പ്രതിരോധം | >10¹⁴ Ω·mm²/മീ |
| പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില | 1600°C താപനില |
അപേക്ഷകൾ:
- · എപ്പിറ്റാക്സിയൽ റിയാക്ടറുകൾക്കുള്ള ഹീറ്റർ കോർ
- · പ്ലാസ്മ ചേംബർ ലൈനറും കവർ പ്ലേറ്റുകളും
- · ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് ഇലക്ട്രിക്കൽ ഇൻസുലേറ്ററുകൾ
- · വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള റോബോട്ടുകൾക്കുള്ള ഫിക്സ്ചർ ബേസ്
നിർമ്മാണം:
ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ് → ഗ്രീൻ മെഷീനിംഗ് → 1600°C-ൽ സിന്ററിംഗ് → CNC അന്തിമ അളവുകളിലേക്ക് ഗ്രൈൻഡിംഗ് (±0.01 mm ടോളറൻസ്). ഓരോ കോറും CMM ഉം അൾട്രാസോണിക് പിഴവ് കണ്ടെത്തലും ഉപയോഗിച്ച് പരിശോധിക്കുന്നു.
ഗുണമേന്മ:
ISO 9001:2015 സാക്ഷ്യപ്പെടുത്തി. ഉപരിതല വിള്ളലുകൾക്കുള്ള ഡൈ പെനട്രന്റ് പരിശോധന; ASTM D149 പ്രകാരം ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി പരിശോധന.
Aമറ്റ് സെറാമിക്സുകളേക്കാൾ ഗുണങ്ങൾ:
- · സിർക്കോണിയയേക്കാൾ ഉയർന്ന ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · പ്ലാസ്മ ഇതര ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് SiC യേക്കാൾ കുറഞ്ഞ ചെലവ്.
- · ഹാലോജനുകളോടുള്ള മികച്ച രാസ പ്രതിരോധം (HF ഒഴികെ)
ഇഷ്ടാനുസൃത രൂപങ്ങൾ:
സിലിണ്ടറുകൾ, ചതുര ബാറുകൾ, പ്ലേറ്റുകൾ, അല്ലെങ്കിൽ സങ്കീർണ്ണമായ ജ്യാമിതികൾ. ഏറ്റവും കുറഞ്ഞ ഫീച്ചർ വലുപ്പം 0.5 മി.മീ.
കസ്റ്റം കോർ ഡിസൈനുകൾക്കും തെർമൽ സിമുലേഷൻ പിന്തുണയ്ക്കും ഞങ്ങളെ ബന്ധപ്പെടുക.








