ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് വാക്വം ചാനലുകളുള്ള അലുമിന സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ
സെന്റ്.സെറയുടെ അലുമിന വാക്വം എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ പ്രിസിഷൻ-മെഷീൻ ചെയ്ത വാക്വം ചാനലുകളെയും സക്ഷൻ ഹോളുകളെയും 99.8% ഹൈ-പ്യൂരിറ്റി അലുമിന ബോഡിയിലേക്ക് നേരിട്ട് സംയോജിപ്പിക്കുന്നു. ഈ ഡിസൈൻ ബാഹ്യ വാക്വം പാഡുകളെ ഒഴിവാക്കുന്നു, ഏകീകൃത ഹോൾഡിംഗ് ഫോഴ്സ് ഉപയോഗിച്ച് നേരിട്ടുള്ള വേഫർ പിക്കപ്പ് സാധ്യമാക്കുന്നു. മെറ്റീരിയലിന്റെ ഉയർന്ന ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി (361 MPa) ഉം കാഠിന്യം (16 GPa) ഉം ആവർത്തിച്ചുള്ള വാക്വം സൈക്കിളുകൾക്ക് കീഴിൽ ദീർഘകാല ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കുന്നു. പാഡ് ഏരിയയിലുടനീളം പരന്നത 10 μm-നുള്ളിൽ നിലനിർത്തുന്നു, ഇത് വേഫർ സമ്മർദ്ദവും പൊട്ടലും തടയുന്നു. OEM റോബോട്ട് ആയുധങ്ങളുമായി എളുപ്പത്തിൽ സംയോജിപ്പിക്കുന്നതിന് പിൻ മൗണ്ടിംഗ് ഫ്ലേഞ്ചിൽ വാക്വം പോർട്ടുകൾ സ്ഥിതിചെയ്യുന്നു.
സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ(99.8% Al₂O₃ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളത്):
| പ്രോപ്പർട്ടി | വില |
| മെറ്റീരിയൽ | 99.8% അലുമിന (ഐവറി) |
| സാന്ദ്രത | 3.93 ഗ്രാം/സെ.മീ³ |
| വഴക്കമുള്ള ശക്തി | 361 എം.പി.എ. |
| വിക്കേഴ്സ് കാഠിന്യം | 16 ജിപിഎ |
| യങ്ങിന്റെ മോഡുലസ് | 380 ജിപിഎ |
| താപ വികാസം | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| പാഡിന്റെ പരന്നത | ≤10 μm |
| വാക്വം ചാനൽ വീതി | 0.5–2.0 മി.മീ. |
| പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില | 800°C താപനില |
അപേക്ഷകൾ:
● നേർത്തതോ വളഞ്ഞതോ ആയ വേഫറുകളുടെ വാക്വം പിക്കപ്പ്
● അരികുകളിൽ പിടിമുറുക്കാതെ നേരിട്ടുള്ള വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ
● സോളാർ സെല്ലും LED സബ്സ്ട്രേറ്റ് ട്രാൻസ്ഫറും
നിർമ്മാണം:
സിന്റർ ചെയ്ത അലുമിന ബ്ലാങ്ക് → വാക്വം ചാനലുകളുടെയും ദ്വാരങ്ങളുടെയും 5-ആക്സിസ് CNC ഡ്രില്ലിംഗ് → ഉപരിതല ലാപ്പിംഗ് → അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ് → ഹീലിയം ലീക്ക് ടെസ്റ്റ്. വാക്വം യൂണിഫോമിസിറ്റിക്കായി ഓരോ ഇഫക്റ്ററും 100% ഫ്ലോ-ടെസ്റ്റ് ചെയ്തിരിക്കുന്നു.
പ്രയോജനങ്ങൾ:
● ബാഹ്യ വാക്വം പാഡുകൾ ഇല്ല (കണികാ സ്രോതസ്സുകൾ കുറയ്ക്കുന്നു)
● ഏകീകൃത ഹോൾഡിംഗ് മർദ്ദം വേഫർ അടയാളപ്പെടുത്തലിനെ തടയുന്നു.
● രാസപരമായി നിഷ്ക്രിയവും ക്ലീൻറൂം അനുയോജ്യവുമാണ്
