സ്റ്റാറ്റിക്-സെൻസിറ്റീവ് വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ESD-സുരക്ഷിത അലുമിന സെറാമിക് ഭാഗങ്ങൾ
സെന്റ് സെറായുടെ ഇഎസ്ഡി (ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ഡിസ്ചാർജ്) സുരക്ഷിത അലുമിന സെറാമിക് ഭാഗങ്ങൾ 99.8% ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള Al₂O₃ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, 10⁶–10⁹ Ω/sq ഉപരിതല പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള ഇവ ഒരു പ്രൊപ്രൈറ്ററി ഡോപ്പിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിലൂടെ നേടിയെടുക്കുന്നു. ഈ ഭാഗങ്ങൾ സ്റ്റാറ്റിക് ചാർജ് ഫലപ്രദമായി ഇല്ലാതാക്കുന്നു, സെൻസിറ്റീവ് സെമികണ്ടക്ടർ വേഫറുകൾക്കും ഉപകരണങ്ങൾക്കും ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് കേടുപാടുകൾ തടയുന്നു. അടിസ്ഥാന മെറ്റീരിയൽ അതിന്റെ ഉയർന്ന ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി (361 MPa), കാഠിന്യം (16 GPa), ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി (15×10⁶ V/m) എന്നിവ നിലനിർത്തുന്നു. ESD-സുരക്ഷിത സെറാമിക് ഭാഗങ്ങളിൽ എൻഡ് ഇഫക്ടറുകൾ, ലിഫ്റ്റ് പിന്നുകൾ, ഗൈഡ് റെയിലുകൾ, FAB ഓട്ടോമേഷനായുള്ള കസ്റ്റം ഫിക്ചറുകൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.
സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ(ESD ചികിത്സയോടൊപ്പം 99.8% Al₂O₃ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളത്):
| പ്രോപ്പർട്ടി | വില |
| അടിസ്ഥാന മെറ്റീരിയൽ | 99.8% അലുമിന |
| ഉപരിതല പ്രതിരോധശേഷി (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/ചതുരശ്ര അടി |
| സാന്ദ്രത | 3.93 ഗ്രാം/സെ.മീ³ |
| വഴക്കമുള്ള ശക്തി | 361 എം.പി.എ. |
| വിക്കേഴ്സ് കാഠിന്യം | 16 ജിപിഎ |
| യങ്ങിന്റെ മോഡുലസ് | 380 ജിപിഎ |
| താപ വികാസം (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില | 800°C താപനില |
| ഡൈലെക്ട്രിക് ശക്തി (ബൾക്ക്) | 15×10⁶ വി/മീറ്റർ |
കുറിപ്പ്: വിതരണം ചെയ്ത മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടി പട്ടികകളിൽ ESD ഉപരിതല പ്രതിരോധശേഷി നൽകിയിട്ടില്ല. മുകളിൽ പറഞ്ഞ ശ്രേണി ഡിസിപേറ്റീവ് സെറാമിക്സിനുള്ള വ്യവസായ നിലവാരമാണ്. പരിശോധനാ റിപ്പോർട്ടുകൾക്കായി ദയവായി ഞങ്ങളെ ബന്ധപ്പെടുക.
അപേക്ഷകൾ:
● വേഫർ ട്രാൻസ്ഫറിനുള്ള ESD-സുരക്ഷിത എൻഡ് ഇഫക്റ്ററുകൾ
● FAB ഉപകരണങ്ങളിലെ ഗ്രൗണ്ടിംഗ് പിന്നുകളും ESD ഫിക്ചറുകളും
● സ്റ്റാറ്റിക് സെൻസിറ്റീവ് ഉപകരണങ്ങൾക്കായി സോക്കറ്റുകൾ പരിശോധിക്കുക
● സ്റ്റാറ്റിക് നിയന്ത്രണം നിർണായകമായ ക്ലീൻറൂം ടൂളിംഗ്
നിർമ്മാണവും ഗുണനിലവാരവും:
സ്റ്റാൻഡേർഡ് അലുമിന പ്രോസസ്സിംഗ് + ESD ഉപരിതല ചികിത്സ → ANSI/ESD STM11.11 പ്രകാരം അളക്കുന്ന ഉപരിതല പ്രതിരോധശേഷി. ഓരോ ഭാഗവും ഒരു കോൺസെൻട്രിക് റിംഗ് ഇലക്ട്രോഡ് ഉപയോഗിച്ച് 100% പരിശോധിക്കുന്നു.
പ്രയോജനങ്ങൾ:
● ESD-യുമായി ബന്ധപ്പെട്ട വിളവ് നഷ്ടം തടയുന്നു
● സെറാമിക്സിന്റെ മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിയും രാസ പ്രതിരോധവും നിലനിർത്തുന്നു.
● സ്റ്റാറ്റിക് ഡിസ്ചാർജിൽ നിന്ന് കണികകൾ ഉണ്ടാകുന്നില്ല.
