സെമികണ്ടക്ടർ പ്രോസസ് ഫിക്ചറുകൾക്കുള്ള സെറാമിക് സപ്പോർട്ടിംഗ് പിൻ
സെന്റ് സെറയുടെ സെറാമിക് സപ്പോർട്ടിംഗ് പിന്നുകൾ (ലിഫ്റ്റ് പിന്നുകൾ അല്ലെങ്കിൽ സപ്പോർട്ട് പിന്നുകൾ എന്നും അറിയപ്പെടുന്നു) സെമികണ്ടക്ടർ പ്രോസസ് ചേമ്പറുകളിൽ കൈകാര്യം ചെയ്യുമ്പോഴോ ചൂടാക്കുമ്പോഴോ തണുപ്പിക്കുമ്പോഴോ വേഫറുകളോ സബ്സ്ട്രേറ്റുകളോ ഉയർത്താൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. 99.8% അലുമിന അല്ലെങ്കിൽ സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച ഈ പിന്നുകൾ ഉയർന്ന കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി, താപ സ്ഥിരത, രാസ പ്രതിരോധം എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. അർദ്ധഗോളാകൃതിയിലുള്ളതോ പരന്നതോ ആയ ടിപ്പ് ഡിസൈൻ വേഫർ സ്ക്രാച്ചിംഗ് തടയുന്നു.
സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ(അലുമിന 99.8%):
| പ്രോപ്പർട്ടി | വില |
| മെറ്റീരിയൽ | 99.8% Al₂O₃ അല്ലെങ്കിൽ Si₃N₄ |
| നീളം | 10 - 100 മി.മീ. |
| വ്യാസം | 1 - 10 മി.മീ. |
| ടിപ്പ് ഷേപ്പ് | പരന്ന, അർദ്ധഗോളാകൃതിയിലുള്ള, കൂർത്ത |
| കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി (Al₂O₃) | >2000 എംപിഎ |
| പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില (Al₂O₃) | 1600°C താപനില |
| ഉപരിതല ഫിനിഷ് | ലാപ്പ്ഡ് (Ra ≤0.4 μm) |
| വ്യാസത്തിലെ സഹിഷ്ണുത | ±0.01 മിമി |
അപേക്ഷകൾ:
സിവിഡി/പിവിഡി ചേമ്പറുകളിലെ ലിഫ്റ്റ് പിന്നുകൾ
ഹോട്ട്പ്ലേറ്റ് ബേക്കിംഗിനുള്ള സപ്പോർട്ട് പിന്നുകൾ
പ്രോബ് കാർഡ് സപ്പോർട്ട് ഘടനകൾ
ക്വാർട്സ് ചൂള ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകൾ
നിർമ്മാണം:
OD യുടെ പ്രിസിഷൻ സെന്റർലെസ് ഗ്രൈൻഡിംഗ് → ടിപ്പ് പ്രൊഫൈലിന്റെ ഡയമണ്ട് ഗ്രൈൻഡിംഗ് → അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ് → 100% ഡൈമൻഷണൽ പരിശോധന.
ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണം:
നീളം/വ്യാസം എന്നിവയ്ക്കുള്ള CMM, ടിപ്പ് റേഡിയസിന് ഒപ്റ്റിക്കൽ കംപറേറ്റർ, കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി പരിശോധിക്കുന്നതിനുള്ള ലോഡ് ടെസ്റ്റിംഗ് (ഓരോ ലോട്ടിലും റാൻഡം സാമ്പിൾ). ഫെറോ മാഗ്നറ്റിക് മലിനീകരണമില്ല (കാന്തം ഉപയോഗിച്ച് പരിശോധിച്ചു).
മെറ്റൽ അല്ലെങ്കിൽ ക്വാർട്സ് പിന്നുകളേക്കാൾ ഗുണങ്ങൾ:
സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീലിനേക്കാൾ 5 മടങ്ങ് കൂടുതൽ ആയുസ്സ്
പ്രോസസ് ചേമ്പറിൽ ലോഹ മലിനീകരണമില്ല.
ക്വാർട്സിനേക്കാൾ ഉയർന്ന താപനില ശേഷി (1600°C vs 1100°C)
നോൺ-സ്റ്റിക്ക് പ്രതലം (കണികാ അഡീഷൻ കുറഞ്ഞു)
ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ:
ഒന്നിലധികം ടിപ്പ് പ്രൊഫൈലുകൾ, ത്രെഡ് ചെയ്ത ബേസ് അല്ലെങ്കിൽ ടേപ്പർഡ് ഷാഫ്റ്റ്.
എക്സ്ട്രീം പ്ലാസ്മ പരിതസ്ഥിതികൾക്കായി ഞങ്ങൾ SiC പിന്നുകളും വിതരണം ചെയ്യുന്നു.
