CVD/PVD ഷവർഹെഡിനുള്ള അലുമിന ഗ്യാസ് ഡിസ്ട്രിബ്യൂഷൻ പ്ലേറ്റ്
സെന്റ്.സെറയുടെ ഗ്യാസ് ഡിസ്ട്രിബ്യൂഷൻ പ്ലേറ്റ് (ഷവർഹെഡ്) ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള 99.8% അലുമിന സെറാമിക് ഉപയോഗിച്ച് കൃത്യതയോടെ നിർമ്മിച്ചതാണ്. CVD, PVD, അല്ലെങ്കിൽ ALD പ്രക്രിയകളിൽ വേഫർ ഉപരിതലത്തിലുടനീളം ഏകീകൃത വാതക പ്രവാഹം ഉറപ്പാക്കുന്ന മൈക്രോ-ഹോളുകളുടെ (വ്യാസം 0.3–1.5 mm) ഒരു നിര ഇതിൽ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു. പ്ലേറ്റിന്റെ ഉയർന്ന ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി (>15×10⁶ V/m) ഉം പ്ലാസ്മ പ്രതിരോധവും സെമികണ്ടക്ടർ നേർത്ത-ഫിലിം നിക്ഷേപത്തിന് ഇത് അത്യന്താപേക്ഷിതമാക്കുന്നു.
സവിശേഷതകൾ:
| പ്രോപ്പർട്ടി | വില |
| മെറ്റീരിയൽ | 99.8% Al₂O₃ അല്ലെങ്കിൽ SiC |
| വ്യാസം | 100 - 1500 മിമി (വൃത്താകൃതി) അല്ലെങ്കിൽ ചതുരാകൃതി |
| കനം | 5 - 20 മി.മീ. |
| ദ്വാര വ്യാസം | 0.3 - 1.5 മി.മീ. |
| ദ്വാര പാറ്റേൺ | കസ്റ്റം (ത്രികോണാകൃതി, ചതുരം, റേഡിയൽ) |
| പരന്നത | പൂർണ്ണ വിസ്തീർണ്ണത്തിൽ ≤10 μm |
| ഉപരിതല കാഠിന്യം | Ra ≤0.6 μm (ഗ്യാസ് സൈഡ്) |
| ഓപ്പൺ ഏരിയ അനുപാതം | 5–15% |
അപേക്ഷകൾ:
PECVD ഷവർഹെഡ് പ്ലേറ്റുകൾ
ALD ഗ്യാസ് ഇൻജക്ടറുകൾ
എച്ച് ചേമ്പർ ഗ്യാസ് വിതരണ പ്ലേറ്റുകൾ
MOCVD റിയാക്ടർ ഘടകങ്ങൾ
നിർമ്മാണം:
അലുമിന സബ്സ്ട്രേറ്റ് ലാപ്ഡ് ഫ്ലാറ്റ് → ഡയമണ്ട് പൂശിയ ഉപകരണങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് CNC ഡ്രില്ലിംഗ് (ഹോൾ പൊസിഷൻ ടോളറൻസ് ± 0.02 മിമി) → ഡീബറിംഗ് → അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ് → ക്ലാസ് 100 പാക്കേജിംഗ്.
ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണം:
ഓരോ പ്ലേറ്റും ദ്വാര വലുപ്പം (കാഴ്ച സംവിധാനം), പരന്നത (ലേസർ ഇന്റർഫെറോമീറ്റർ), വാതക പ്രവാഹ ഏകീകൃതത (മർദ്ദ മാപ്പിംഗ്) എന്നിവയ്ക്കായി 100% പരിശോധിക്കുന്നു. 20x മൈക്രോസ്കോപ്പിന് കീഴിൽ മൈക്രോ-വിള്ളലുകൾ ഉണ്ടാകില്ല.
മെറ്റൽ പ്ലേറ്റുകളേക്കാൾ ഗുണങ്ങൾ:
നേർത്ത ഫിലിമുകളിൽ ലോഹ മലിനീകരണമില്ല.
കുറഞ്ഞ കണിക ഉത്പാദനം (നാശന അടരുകളൊന്നുമില്ല)
ആക്രമണാത്മക ക്ലീനിംഗ് പ്ലാസ്മകളെ (CF₄, NF₃) പ്രതിരോധിക്കുന്നു.
ഇഷ്ടാനുസൃത സവിശേഷതകൾ:
പിൻവശത്തെ ഗ്യാസ് ചാനലുകൾ, കൌണ്ടർ-ബോറഡ് ഹോളുകൾ, എഡ്ജ് സീലുകൾ, വ്യത്യസ്ത മെറ്റീരിയൽ ഗ്രേഡുകൾ (ഉയർന്ന താപ ചാലകതയ്ക്ക് SiC, പ്ലാസ്മ പ്രതിരോധത്തിന് Y₂O₃ കോട്ടിംഗ്).
നിർമ്മാണത്തിന് മുമ്പ് ഞങ്ങൾ CAD പരിശോധനയും ഫ്ലോ സിമുലേഷനും നൽകുന്നു.
