സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ - ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഉയർന്ന കാഠിന്യം
S1111 ബാച്ച് മെറ്റീരിയൽ ഉപയോഗിച്ച് ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൽ (SiC ഉള്ളടക്കം 99.72%, സൗജന്യ Si 0.05%) നിന്നാണ് സെന്റ് സെറയുടെ SiC സെറാമിക് എൻഡ് എഫെക്റ്റർ നിർമ്മിക്കുന്നത്. ഇത് അസാധാരണമായ മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു: വഴക്കമുള്ള ശക്തി 449 MPa (അളന്നത്), ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ് 457 GPa (അളന്നത്), വിക്കേഴ്സ് കാഠിന്യം 25–28 GPa (സാധാരണ). കുറഞ്ഞ സാന്ദ്രത (3.10–3.15 g/cm³, സാധാരണ) ഉയർന്ന നിർദ്ദിഷ്ട കാഠിന്യം നൽകുന്നു, ഇത് ഹൈ-സ്പീഡ് വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ റോബോട്ടുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്. 120–150 W/m·K (സാധാരണ) താപ ചാലകതയും 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (സാധാരണ) താപ വികാസ ഗുണകവും ഉള്ള ഈ എൻഡ് എഫെക്റ്റർ ഉയർന്ന താപനില കൈകാര്യം ചെയ്യുമ്പോൾ (1600–1700°C വരെ, ലോഡ് ഇല്ല) താപം ഫലപ്രദമായി ഇല്ലാതാക്കുകയും ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത നിലനിർത്തുകയും ചെയ്യുന്നു. കറുപ്പ്/ചാര നിറവും പൂജ്യം ജല ആഗിരണവും ക്ലീൻറൂം അനുയോജ്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു.
സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ(നൽകിയിരിക്കുന്ന SiC S1111 ടെസ്റ്റ് റിപ്പോർട്ടും സാധാരണ മൂല്യങ്ങളും അടിസ്ഥാനമാക്കി)):
| പ്രോപ്പർട്ടി | വില |
| മെറ്റീരിയൽ | SiC (99.72% SiC, 0.05% സൗജന്യ Si) |
| നിറം | കറുപ്പ്/ചാരനിറം |
| സാന്ദ്രത | 3.10–3.15 ഗ്രാം/സെ.മീ³ |
| ജല ആഗിരണം | 0% |
| വഴക്കമുള്ള ശക്തി | 449 MPa (ശരാശരി) |
| ഒടിവിന്റെ കാഠിന്യം | 3.12 MPa·m¹/² (ശരാശരി) |
| ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ് | 457 ജിപിഎ |
| വിക്കേഴ്സ് കാഠിന്യം | 25–28 ജിപിഎ |
| താപ ചാലകത (25°C) | 120–150 പ/മീ·കാൽ |
| സിടിഇ (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| പരമാവധി ഉപയോഗ താപനില (ലോഡ് ഇല്ല) | 1600–1700°C താപനില |
അപേക്ഷകൾ:
● ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ (പോസ്റ്റ്-അനിയൽ, RTP, എപ്പിറ്റാക്സി)
● ഉയർന്ന മണ്ണൊലിപ്പ് പ്രതിരോധം ആവശ്യമുള്ള പ്ലാസ്മ എച്ച് ചേമ്പറുകൾ
● ഹൈ-സ്പീഡ് ട്രാൻസ്ഫർ റോബോട്ടുകൾ (ഭാരം കുറഞ്ഞത്, ഉയർന്ന കാഠിന്യം)
നിർമ്മാണം:
SiC പൗഡർ സിന്ററിംഗ് → ആം പ്രൊഫൈലിന്റെ പ്രിസിഷൻ CNC ഗ്രൈൻഡിംഗ്, മൗണ്ടിംഗ് സവിശേഷതകൾ → സർഫസ് ലാപ്പിംഗ് → അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ്. വാക്വം ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി 100% ഡൈമൻഷണൽ പരിശോധനയും ഹീലിയം ലീക്ക് ടെസ്റ്റും.
ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണം:
● നീളം, വീതി, പരപ്പ് എന്നിവയുടെ CMM പരിശോധന
● ബാച്ചിലെ ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി പരിശോധന (ടെസ്റ്റ് റിപ്പോർട്ട് സ്റ്റാൻഡേർഡ് അനുസരിച്ച്)
● ഉപരിതല വൈകല്യങ്ങൾക്കായി മൈക്രോസ്കോപ്പിന് കീഴിലുള്ള ദൃശ്യ പരിശോധന.
അലുമിനയേക്കാളും ലോഹത്തേക്കാളും ഗുണങ്ങൾ:
● 2× ഉയർന്ന ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ് (അലുമിനയ്ക്ക് 457 vs ~380 GPa) – കുറവ് വ്യതിയാനം
● 3× ഉയർന്ന താപ ചാലകത - വേഗത്തിലുള്ള താപ വിസർജ്ജനം
● വായുവിൽ അലുമിനയുടെ 800°C നെ അപേക്ഷിച്ച് 1600°C യിൽ കൂടുതൽ താപനിലയെ നേരിടുന്നു
● സ്റ്റീലിനേക്കാൾ സാന്ദ്രത കുറവാണ് – 40% ഭാരം കുറവ്
ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ:
150–450 മില്ലീമീറ്റർ നീളം, ടിപ്പ് ആകൃതികൾ (എഡ്ജ് ഗ്രിപ്പ്, ബെർണൂലി, ഫ്ലാറ്റ്), OEM ഡ്രോയിംഗ് അനുസരിച്ച് മൗണ്ടിംഗ് ഫ്ലേഞ്ച് പാറ്റേണുകൾ.
*മുകളിലുള്ള എല്ലാ മെക്കാനിക്കൽ ഡാറ്റയും നൽകിയിരിക്കുന്ന ടെസ്റ്റ് റിപ്പോർട്ടിൽ (ബാച്ച് S1111) നിന്നാണ്. ഈ SiC ഗ്രേഡിന് താപ, കാഠിന്യം മൂല്യങ്ങൾ സാധാരണമാണ്; ലോട്ട്-നിർദ്ദിഷ്ട സർട്ടിഫിക്കേഷനായി ദയവായി ഞങ്ങളെ ബന്ധപ്പെടുക.*
