ഉയർന്ന താപനിലയ്ക്കും പ്ലാസ്മ പരിതസ്ഥിതികൾക്കും വേണ്ടിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള വാക്വം ചക്ക്

സെന്റ്.സെറയുടെ SiC അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള സെറാമിക് ചക്ക് ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൽ നിന്നാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത് (ബാച്ച് S1111, SiC 99.72%, സൗജന്യ Si 0.05%). ഇത് 449 MPa യുടെ അളന്ന ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി, 3.12 MPa·m¹/² ന്റെ ഫ്രാക്ചർ കാഠിന്യം, 457 GPa യുടെ ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ് എന്നിവ നൽകുന്നു. മെറ്റീരിയലിന്റെ സാധാരണ താപ ചാലകത (120–150 W/m·K) ഉം കുറഞ്ഞ താപ വികാസവും (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) താപ സൈക്ലിംഗ് സമയത്ത് ദ്രുത താപനില റാമ്പിംഗും കുറഞ്ഞ വേഫർ വാർപേജും പ്രാപ്തമാക്കുന്നു. ചക്ക് ഒരു പോറസ് വാക്വം ചക്ക് (യൂണിഫോം ഗ്യാസ് ഫ്ലോ) അല്ലെങ്കിൽ ഗ്രൂവ്ഡ് സ്റ്റാൻഡേർഡ് ചക്ക് ആയി ക്രമീകരിക്കാം. പരമാവധി ഉപയോഗ താപനില 1600–1700°C (ലോഡ് ഇല്ല) ഉം അസാധാരണമായ പ്ലാസ്മ മണ്ണൊലിപ്പ് പ്രതിരോധവും ഉള്ള ഈ ചക്ക്, ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിനും (അനിയലിംഗ്, RTP) അലുമിന ചക്കുകൾ വിഘടിപ്പിക്കുന്ന ആക്രമണാത്മക എച്ച് ചേമ്പറുകൾക്കും അനുയോജ്യമാണ്.

സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ(നൽകിയിരിക്കുന്ന SiC S1111 ടെസ്റ്റ് റിപ്പോർട്ടും സാധാരണ മൂല്യങ്ങളും അടിസ്ഥാനമാക്കി)):

അപേക്ഷകൾ:

● ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള ചക്കിംഗ് (അനിയലിംഗ്, RTP, എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ച)

● ഉയർന്ന ഫ്ലൂറിൻ പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള പ്ലാസ്മ എച്ച് ചക്ക്

● ഏകീകൃത ചൂടാക്കൽ/തണുപ്പിക്കൽ സംവിധാനത്തോടുകൂടിയ നേർത്ത വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ

● നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് വേഫർ സപ്പോർട്ടിനുള്ള പോറസ് ചക്ക്

നിർമ്മാണം:

SiC സിന്ററിംഗ് → പരന്നതും ഉപരിതല പ്രൊഫൈലും കൃത്യമായി പൊടിക്കൽ → ഓപ്ഷണൽ പോറസ് ഘടന രൂപീകരണം (വാക്വം ചക്കിന്) → ലാപ്പിംഗ് → അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ്. ഓരോ ചക്കും പരന്നതും (ലേസർ ഇന്റർഫെറോമീറ്റർ) വാക്വം യൂണിഫോർമിറ്റിയും (ഫ്ലോ ടെസ്റ്റ്) 100% പരിശോധിക്കുന്നു.

ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണം:

● CMM ഡൈമൻഷണൽ പരിശോധന (വ്യാസം, കനം, ദ്വാര സ്ഥാനങ്ങൾ)

● ASTM അനുസരിച്ച് പരന്നത അളക്കൽ

● ഹീലിയം ചോർച്ച പരിശോധന (വാക്വം ചക്കുകൾക്ക്)

● ബാച്ചിലെ ഫ്ലെക്‌ഷണൽ ശക്തി പരിശോധന (റഫറൻസ് ടെസ്റ്റ് റിപ്പോർട്ട്)

അലുമിന ചക്കുകളെ അപേക്ഷിച്ച് ഗുണങ്ങൾ:

● ഉയർന്ന താപ ചാലകത (അലുമിനയ്ക്ക് 120–150 vs 32 W/m·K) – 4× വേഗത്തിലുള്ള താപ കൈമാറ്റം

● കുറഞ്ഞ CTE (4.0 vs 7.2×10⁻⁶/℃) – വേഫർ തെർമൽ സ്ട്രെസ് കുറയ്ക്കുന്നു

● മികച്ച പ്ലാസ്മ പ്രതിരോധം - ഫ്ലൂറിൻ എച്ചിൽ 10× കൂടുതൽ ആയുസ്സ്.

● ഉയർന്ന പരമാവധി ഉപയോഗ താപനില (അലുമിനയ്ക്ക് 1600°C vs 800°C)

ഇഷ്‌ടാനുസൃതമാക്കൽ:

● സുഷിരങ്ങളുള്ളതോ ചാലുകളുള്ളതോ ആയ പ്രതലം

● വ്യാസം 100–450 മി.മീ, വൃത്താകൃതി അല്ലെങ്കിൽ ചതുരം

● എഡ്ജ് സീലിംഗ് റിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ സോൺ വാക്വം പാർട്ടീഷനുകൾ

● ഉയർന്ന കാഠിന്യമുള്ള മൗണ്ടിംഗിനുള്ള മെറ്റൽ ബാക്കിംഗ് ഓപ്ഷൻ

മുകളിലുള്ള എല്ലാ മെക്കാനിക്കൽ ഡാറ്റയും നൽകിയിരിക്കുന്ന ടെസ്റ്റ് റിപ്പോർട്ടിൽ (ബാച്ച് S1111) നിന്നാണ് വരുന്നത്. ഈ SiC ഗ്രേഡിന് താപ, കാഠിന്യം മൂല്യങ്ങൾ സാധാരണമാണ്. പോറസ് SiC ചക്കുകൾക്ക് അധിക പ്രോസസ്സിംഗ് ആവശ്യമാണ്; നിർദ്ദിഷ്ട പോറോസിറ്റി, പോർ വലുപ്പ ലഭ്യത എന്നിവയ്ക്കായി ദയവായി അന്വേഷിക്കുക.