300 എംഎം വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിനുള്ള 12-ഇഞ്ച് അലുമിന വാക്വം ചക്ക്
300mm വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനായി സെന്റ്.സെറയുടെ 12-ഇഞ്ച് വാക്വം ചക്ക് 99.8% ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി അലുമിന (Al₂O₃) ഉപയോഗിച്ച് കൃത്യതയോടെ എഞ്ചിനീയറിംഗ് ചെയ്തിരിക്കുന്നു. 300mm വ്യാസത്തിലുടനീളം ഏകീകൃത വാക്വം വിതരണം ഉറപ്പാക്കാൻ ചക്കിൽ ഒരു ഫൈൻ-ഗ്രൂവ്ഡ് പ്രതലം (ഗ്രൂവ് വീതി 0.5–1.0 mm, പിച്ച് 2–3 mm) ഉണ്ട്. ഡൈസിംഗ്, ബാക്ക്സൈഡ് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, പരിശോധന എന്നിവയ്ക്കിടെ വാർപ്പ്-ഫ്രീ വേഫർ ഫിക്സേഷൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നതിന് 5 μm-നുള്ളിൽ പരന്നത നിലനിർത്തുന്നു. മെറ്റീരിയലിന്റെ ഉയർന്ന ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി (361 MPa) ഉം കാഠിന്യവും (16 GPa) ആവർത്തിച്ചുള്ള വാക്വം സൈക്കിളുകളിൽ പോലും ദീർഘകാല ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത ഉറപ്പ് നൽകുന്നു.
സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ (99.8% Al₂O₃ അടിസ്ഥാനമാക്കി):
| പ്രോപ്പർട്ടി | വില |
| വ്യാസം | 300 മില്ലീമീറ്റർ (12 ഇഞ്ച്) |
| മെറ്റീരിയൽ | 99.8% അലുമിന (ഐവറി) |
| സാന്ദ്രത | 3.93 ഗ്രാം/സെ.മീ³ |
| വഴക്കമുള്ള ശക്തി | 361 എം.പി.എ. |
| വിക്കേഴ്സ് കാഠിന്യം | 16 ജിപിഎ |
| പരന്നത (300 മില്ലിമീറ്ററിൽ കൂടുതൽ) | ≤5 μm |
| ഗ്രൂവ് വീതി | 0.5–1.0 മി.മീ. |
| പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില | 800°C താപനില |
| ഡൈലെക്ട്രിക് ശക്തി | 15×10⁶ വി/മീറ്റർ |
അപേക്ഷകൾ:
300mm വേഫർ ഡൈസിംഗും സ്ക്രൈബിംഗും
വേഫറിന്റെ പിൻഭാഗം അരക്കൽ (നേർത്ത വേഫർ പിന്തുണ)
ഒപ്റ്റിക്കൽ പരിശോധനയും അന്വേഷണവും
താൽക്കാലിക ബോണ്ടിംഗ്/ഡീബോണ്ടിംഗ് ചക്കുകൾ
നിർമ്മാണം:
CNC ഗ്രൗണ്ട് ചെയ്ത് അന്തിമ പരന്നതയിലേക്ക് ലാപ്പ് ചെയ്തു, ഡയമണ്ട് വീലുകൾ കൊണ്ട് ഗ്രൂവ് ചെയ്തു, അൾട്രാസോണിക്കലായി വൃത്തിയാക്കി, ക്ലാസ് 100 ക്ലീൻറൂമിൽ പാക്ക് ചെയ്തു. ഓരോ ചക്കും പരന്നത (ലേസർ ഇന്റർഫെറോമീറ്റർ), ഗ്രൂവ് ഡെപ്ത് (പ്രൊഫൈലോമീറ്റർ) എന്നിവയ്ക്കായി 100% പരിശോധിക്കുന്നു.
പ്രയോജനങ്ങൾ:
കുറഞ്ഞ കണിക ഉത്പാദനം (≤0.05 കണികകൾ/സെ.മീ²)
ലായകങ്ങളോടും ആസിഡുകളോടും രാസപരമായി നിഷ്ക്രിയം.
ESD-സുരക്ഷിത പ്രതലം (പ്രതിരോധശേഷി >10¹³ Ω·cm)
ഇഷ്ടാനുസൃത വാക്വം ഹോൾ പാറ്റേണുകളും പിൻവശത്തെ പോർട്ടുകളും ലഭ്യമാണ്.
