നേർത്ത വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള അലുമിന അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള പോറസ് സെറാമിക് വാക്വം ചക്ക്
സെന്റ് സെറയുടെ അലുമിന അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള പോറസ് ചക്ക് 99.6% ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള Al₂O₃ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, 30–45% നിയന്ത്രിത തുറന്ന പോറോസിറ്റിയും 10 മുതൽ 50 μm വരെ ഏകീകൃത പോർ വലുപ്പവും ഇതിനുണ്ട്. ഗ്രൂവ്ഡ് ചക്കുകളിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമായി, പോറസ് ഉപരിതലം മുഴുവൻ വേഫറിന്റെ പിൻഭാഗത്തും വിതരണം ചെയ്ത വാക്വം നൽകുന്നു, എഡ്ജ് മാർക്കിംഗ് ഒഴിവാക്കുകയും അൾട്രാ-നേർത്ത (≤100 μm) അല്ലെങ്കിൽ വാർപ്പ്ഡ് വേഫറുകൾ മൃദുവായി പിടിക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. മെറ്റീരിയൽ ≥250 MPa വരെ വഴക്കമുള്ള ശക്തിയും വായുവിൽ 400°C വരെ താപ സ്ഥിരതയും നൽകുന്നു.
സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ(99.6% Al അടിസ്ഥാനമാക്കി�O₃):
| പ്രോപ്പർട്ടി | വില |
| മെറ്റീരിയൽ | 99.6% അലുമിന (വെള്ള) |
| പോറോസിറ്റി | 30–45% (ക്രമീകരിക്കാവുന്നത്) |
| ശരാശരി സുഷിര വലുപ്പം | 10–50 മൈക്രോൺ |
| വഴക്കമുള്ള ശക്തി | ≥250 എംപിഎ |
| സാന്ദ്രത | 3.88 ഗ്രാം/സെ.മീ³ |
| പരന്നത (200 മില്ലിമീറ്ററിൽ കൂടുതൽ) | ≤5 μm |
| പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില | 400°C (വായു) |
| ഉപരിതല ഫിനിഷ് | ലാപ്പ്ഡ് (Ra ≤0.8 μm) |
അപേക്ഷകൾ:
- · നേർത്ത വേഫർ (≤50 μm) പിൻവശം അരക്കൽ
- · ഡൈസിംഗിനായി വളഞ്ഞ വേഫർ മൗണ്ടിംഗ്
- · സിംഗിൾ ഡൈ പിക്ക്-അപ്പ്
- · ഗ്ലാസ് സബ്സ്ട്രേറ്റ് കൈകാര്യം ചെയ്യൽ
നിർമ്മാണം:
പോർ ഫോർമറുകളുമായി കലർത്തിയ പൊടി → ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ് → 1600°C-ൽ സിന്ററിംഗ് → അന്തിമ കനത്തിൽ ലാപ്പിംഗ്. ഓരോ ചക്കും വാക്വം യൂണിഫോമിറ്റിക്കായി (മർദ്ദ വ്യതിയാനം <5%) ഫ്ലോ-ടെസ്റ്റ് ചെയ്യുകയും പോർ സൈസ് ഡിസ്ട്രിബ്യൂഷൻ (SEM) പരിശോധിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
പരമ്പരാഗത ചക്കുകളേക്കാൾ ഗുണങ്ങൾ:
- · വേഫർ ബാക്ക്സൈഡ് മാർക്കിംഗോ ഡൈ ഷിഫ്റ്റോ ഇല്ല.
- · 500 μm വരെ ബോ ഉള്ള വേഫറുകൾ പിടിക്കുന്നു
- · സ്വയം വൃത്തിയാക്കുന്ന പ്രതലം (സുഷിരങ്ങൾ അടഞ്ഞുപോകുന്നതിനെ പ്രതിരോധിക്കും)
- · യൂണിഫോം പിന്തുണ പ്രാദേശിക സമ്മർദ്ദം ഇല്ലാതാക്കുന്നു
Cഉപയോക്തൃവൽക്കരണം:
വൃത്താകൃതിയിലോ ചതുരാകൃതിയിലോ ഉള്ള, വ്യാസം 100–450 മില്ലിമീറ്റർ. സോൺ ചെയ്ത വാക്വം നിയന്ത്രണത്തിനായി എഡ്ജ് സീലിംഗ് റിംഗ് ലഭ്യമാണ്.
നിങ്ങളുടെ നിർദ്ദിഷ്ട വേഫർ വലുപ്പത്തിനായി ഒരു സാമ്പിൾ അഭ്യർത്ഥിക്കുക.










