പേജ്_ബാനർ

നേർത്ത വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള അലുമിന അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള പോറസ് സെറാമിക് വാക്വം ചക്ക്

നേർത്ത വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള അലുമിന അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള പോറസ് സെറാമിക് വാക്വം ചക്ക്

ഹൃസ്വ വിവരണം:

സെന്റ് സെറയുടെ അലുമിന അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള പോറസ് ചക്ക് 99.6% ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള Al₂O₃ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, 30–45% നിയന്ത്രിത തുറന്ന പോറോസിറ്റിയും 10 മുതൽ 50 μm വരെ ഏകീകൃത പോർ വലുപ്പവും ഇതിനുണ്ട്. ഗ്രൂവ്ഡ് ചക്കുകളിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമായി, പോറസ് ഉപരിതലം മുഴുവൻ വേഫറിന്റെ പിൻഭാഗത്തും വിതരണം ചെയ്ത വാക്വം നൽകുന്നു, എഡ്ജ് മാർക്കിംഗ് ഒഴിവാക്കുകയും അൾട്രാ-നേർത്ത (≤100 μm) അല്ലെങ്കിൽ വാർപ്പ്ഡ് വേഫറുകൾ മൃദുവായി പിടിക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. മെറ്റീരിയൽ ≥250 MPa വരെ വഴക്കമുള്ള ശക്തിയും വായുവിൽ 400°C വരെ താപ സ്ഥിരതയും നൽകുന്നു.


ഉൽപ്പന്ന വിശദാംശങ്ങൾ

ഉൽപ്പന്ന ടാഗുകൾ

സെന്റ് സെറയുടെ അലുമിന അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള പോറസ് ചക്ക് 99.6% ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള Al₂O₃ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, 30–45% നിയന്ത്രിത തുറന്ന പോറോസിറ്റിയും 10 മുതൽ 50 μm വരെ ഏകീകൃത പോർ വലുപ്പവും ഇതിനുണ്ട്. ഗ്രൂവ്ഡ് ചക്കുകളിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമായി, പോറസ് ഉപരിതലം മുഴുവൻ വേഫറിന്റെ പിൻഭാഗത്തും വിതരണം ചെയ്ത വാക്വം നൽകുന്നു, എഡ്ജ് മാർക്കിംഗ് ഒഴിവാക്കുകയും അൾട്രാ-നേർത്ത (≤100 μm) അല്ലെങ്കിൽ വാർപ്പ്ഡ് വേഫറുകൾ മൃദുവായി പിടിക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. മെറ്റീരിയൽ ≥250 MPa വരെ വഴക്കമുള്ള ശക്തിയും വായുവിൽ 400°C വരെ താപ സ്ഥിരതയും നൽകുന്നു.

 

സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ(99.6% Al അടിസ്ഥാനമാക്കിO):

പ്രോപ്പർട്ടി വില
മെറ്റീരിയൽ 99.6% അലുമിന (വെള്ള)
പോറോസിറ്റി 30–45% (ക്രമീകരിക്കാവുന്നത്)
ശരാശരി സുഷിര വലുപ്പം 10–50 മൈക്രോൺ
വഴക്കമുള്ള ശക്തി ≥250 എംപിഎ
സാന്ദ്രത 3.88 ഗ്രാം/സെ.മീ³
പരന്നത (200 മില്ലിമീറ്ററിൽ കൂടുതൽ) ≤5 μm
പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില 400°C (വായു)
ഉപരിതല ഫിനിഷ് ലാപ്പ്ഡ് (Ra ≤0.8 μm)

 

അപേക്ഷകൾ:

  • · നേർത്ത വേഫർ (≤50 μm) പിൻവശം അരക്കൽ
  • · ഡൈസിംഗിനായി വളഞ്ഞ വേഫർ മൗണ്ടിംഗ്
  • · സിംഗിൾ ഡൈ പിക്ക്-അപ്പ്
  • · ഗ്ലാസ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് കൈകാര്യം ചെയ്യൽ

 

നിർമ്മാണം:

പോർ ഫോർമറുകളുമായി കലർത്തിയ പൊടി → ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ് → 1600°C-ൽ സിന്ററിംഗ് → അന്തിമ കനത്തിൽ ലാപ്പിംഗ്. ഓരോ ചക്കും വാക്വം യൂണിഫോമിറ്റിക്കായി (മർദ്ദ വ്യതിയാനം <5%) ഫ്ലോ-ടെസ്റ്റ് ചെയ്യുകയും പോർ സൈസ് ഡിസ്ട്രിബ്യൂഷൻ (SEM) പരിശോധിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

 

പരമ്പരാഗത ചക്കുകളേക്കാൾ ഗുണങ്ങൾ:

  • · വേഫർ ബാക്ക്‌സൈഡ് മാർക്കിംഗോ ഡൈ ഷിഫ്റ്റോ ഇല്ല.
  • · 500 μm വരെ ബോ ഉള്ള വേഫറുകൾ പിടിക്കുന്നു
  • · സ്വയം വൃത്തിയാക്കുന്ന പ്രതലം (സുഷിരങ്ങൾ അടഞ്ഞുപോകുന്നതിനെ പ്രതിരോധിക്കും)
  • · യൂണിഫോം പിന്തുണ പ്രാദേശിക സമ്മർദ്ദം ഇല്ലാതാക്കുന്നു

 

Cഉപയോക്തൃവൽക്കരണം:

വൃത്താകൃതിയിലോ ചതുരാകൃതിയിലോ ഉള്ള, വ്യാസം 100–450 മില്ലിമീറ്റർ. സോൺ ചെയ്ത വാക്വം നിയന്ത്രണത്തിനായി എഡ്ജ് സീലിംഗ് റിംഗ് ലഭ്യമാണ്.

 

നിങ്ങളുടെ നിർദ്ദിഷ്ട വേഫർ വലുപ്പത്തിനായി ഒരു സാമ്പിൾ അഭ്യർത്ഥിക്കുക.


  • മുമ്പത്തെ:
  • അടുത്തത്: