ബെർണൂലി സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ — നേർത്തതും ദുർബലവുമായ വേഫറുകൾക്കുള്ള നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ

സെന്റ്.സെറാസ് ബെർണൂലി സെറാമിക് എൻഡ് എഫെക്ടർ, ഭൗതിക സമ്പർക്കമില്ലാതെ വേഫറുകൾ കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ എയറോഡൈനാമിക് ലിഫ്റ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള 99.8% അലുമിന (Al₂O₃) അല്ലെങ്കിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) എന്നിവയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ച ഇത്, എൻഡ് എഫെക്ടറിനും വേഫറിനും ഇടയിൽ ഒരു നേർത്ത എയർ ഫിലിം സൃഷ്ടിക്കുന്നതിന് പ്രഷറൈസ്ഡ് വാതകം പുറന്തള്ളുന്ന പ്രിസിഷൻ-മെഷീൻ ചെയ്ത നോസിലുകളുടെ സവിശേഷതയാണ്. ഈ നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് തത്വം ബാക്ക്‌സൈഡ് മലിനീകരണം, എഡ്ജ് ചിപ്പിംഗ്, ഉപരിതല കേടുപാടുകൾ എന്നിവ ഇല്ലാതാക്കുന്നു, ഇത് നേർത്ത (≤100 μm), ദുർബലമായ അല്ലെങ്കിൽ വളഞ്ഞ വേഫറുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. സെറാമിക് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഉയർന്ന വഴക്കമുള്ള ശക്തി (Al₂O₃-ന് 361 MPa; SiC-ക്ക് 550–600 MPa വരെ), കുറഞ്ഞ പിണ്ഡം, മികച്ച ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത എന്നിവ നൽകുന്നു, ഇത് ഹൈ-സ്പീഡ് വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ റോബോട്ടുകളിൽ ആവർത്തിക്കാവുന്ന സ്ഥാനനിർണ്ണയം ഉറപ്പാക്കുന്നു.

മെറ്റീരിയലുകളെക്കുറിച്ചുള്ള കുറിപ്പ്:കാഠിന്യം, വൈദ്യുത ഇൻസുലേഷൻ, രാസ സ്ഥിരത, ചെലവ്-ഫലപ്രാപ്തി എന്നിവയുടെ മികച്ച സംയോജനം കാരണം, സെമികണ്ടക്ടർ വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യലിൽ സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്ററുകൾക്ക് അലുമിന (Al₂O₃) ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്ന വസ്തുവാണ്. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) ഉയർന്ന താപ ചാലകത, ഉയർന്ന കാഠിന്യം, ഏറ്റവും ആവശ്യമുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് മികച്ച വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. യ്ട്രിയ-സ്റ്റെബിലൈസ്ഡ് സിർക്കോണിയ (ZrO₂) മുറിയിലെ താപനിലയിൽ ഉയർന്ന ഒടിവ് കാഠിന്യം വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നുണ്ടെങ്കിലും, ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയും വ്യത്യസ്ത താപ വികാസ സവിശേഷതകളും കാരണം ഈ ആപ്ലിക്കേഷനിൽ ഇത് സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നില്ല; അസാധാരണമായ ഒടിവ് കാഠിന്യം ആവശ്യമുള്ള പ്രത്യേക സാഹചര്യങ്ങളിൽ ഇത് പരിഗണിക്കാവുന്നതാണ്. മെറ്റീരിയൽ തിരഞ്ഞെടുക്കൽ മാർഗ്ഗനിർദ്ദേശത്തിനായി ദയവായി ഞങ്ങളുടെ സാങ്കേതിക സംഘവുമായി ബന്ധപ്പെടുക.

സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ(99.8% Al അടിസ്ഥാനമാക്കി�O₃):

പ്രവർത്തന തത്വം:

കംപ്രസ് ചെയ്ത വായു അല്ലെങ്കിൽ നൈട്രജൻ (0.2–0.6 MPa) ആന്തരിക ചാനലുകളിലൂടെ വിതരണം ചെയ്യപ്പെടുകയും പ്രിസിഷൻ നോസിലുകൾ വഴി പുറത്തുകടക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ത്വരിതപ്പെടുത്തിയ വായുപ്രവാഹം എൻഡ് ഇഫക്ടറിന് മുകളിൽ ഒരു താഴ്ന്ന മർദ്ദ മേഖല സൃഷ്ടിക്കുന്നു (ബെർണൂലി പ്രഭാവം), 50–200 μm വിടവിൽ വേഫറിനെ പിന്തുണയ്ക്കുന്ന ലിഫ്റ്റിംഗ് ഫോഴ്‌സ് സൃഷ്ടിക്കുന്നു. വാക്വം ദ്വാരങ്ങളോ പാഡുകളോ വേഫറിന്റെ പിൻവശത്തെ സ്പർശിക്കുന്നില്ല.

അപേക്ഷകൾ:

• · പിൻവശം പൊടിച്ചതിന് ശേഷം നേർത്ത വേഫർ (≤50 μm) കൈകാര്യം ചെയ്യൽ
• · വളഞ്ഞ വേഫർ ഗതാഗതം (ഉദാ. CVD അല്ലെങ്കിൽ അനീലിംഗിന് ശേഷം)
• · സോളാർ സെല്ലും LED സഫയറും ഉള്ള സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് കൈമാറ്റം
• · സീറോ കണികാ ഉത്പാദനം ആവശ്യമുള്ള ക്ലീൻറൂം ഓട്ടോമേഷൻ
• · ഡിസ്പ്ലേ നിർമ്മാണത്തിൽ ഗ്ലാസ് പാനൽ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ

നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ:

ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള പൊടിയിൽ നിന്ന് സിന്റർ ചെയ്ത സെറാമിക് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് → ഗ്യാസ് ചാനലുകളുടെയും നോസൽ ദ്വാരങ്ങളുടെയും 5-ആക്സിസ് CNC മെഷീനിംഗ് (വ്യാസം 0.3–1.0 മിമി, ടോളറൻസ് ±0.01 മിമി) → ഉപരിതലം Ra ≤0.4 μm ലേക്ക് ലാപ്പിംഗ് → അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ് → ഹീലിയം ലീക്ക് ടെസ്റ്റ് (ഗ്യാസ് ചാനലുകൾ). കോട്ടിംഗ് ആവശ്യമില്ല - നഗ്നമായ സെറാമിക് ഉപരിതലം രാസപരമായി നിഷ്ക്രിയവും മലിനീകരിക്കാത്തതുമാണ്.

ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണം:

• · നോസൽ സ്ഥാനങ്ങൾ, കൈ നീളം, പരന്നത എന്നിവയുടെ 100% ഡൈമൻഷണൽ പരിശോധന (CMM).
• · വായുപ്രവാഹ ഏകീകൃത പരിശോധന: എല്ലാ നോസിലുകളിലും മർദ്ദം ≤5% കുറയുന്നു.
• · ചോർച്ച പരിശോധന: ഗ്യാസ് ചാനലുകൾ 0.6 MPa-യിൽ അടച്ചിരിക്കുന്നു, 30 സെക്കൻഡിൽ മർദ്ദം കുറയുന്നില്ല.
• · 20× മൈക്രോസ്കോപ്പിന് കീഴിൽ സൂക്ഷ്മ വിള്ളലുകൾക്കോ ​​ബർറുകൾക്കോ ​​വേണ്ടിയുള്ള ദൃശ്യ പരിശോധന.

Aപരമ്പരാഗത കോൺടാക്റ്റ് എൻഡ് ഇഫക്റ്ററുകളെ അപേക്ഷിച്ച് ഗുണങ്ങൾ:

• · വേഫറിന്റെ പിൻവശത്തെ മലിനീകരണം ഇല്ല - മെക്കാനിക്കൽ സമ്പർക്കമില്ല.
• · നേർത്ത വേഫറുകളുടെ അരികുകൾ പൊട്ടുകയോ പൊട്ടുകയോ ഇല്ല.
• · സ്ഥിരമായ വിടവുള്ള വളഞ്ഞ വേഫറുകൾ (1 മില്ലീമീറ്റർ വരെ ബോ) കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നു.
• · വാക്വം ജനറേറ്റർ, പോറസ് ചക്ക് അറ്റകുറ്റപ്പണികൾ എന്നിവ ഇല്ലാതാക്കുന്നു.
• · സെറാമിക് നിർമ്മാണം തേയ്മാനത്തെയും രാസ ആക്രമണത്തെയും പ്രതിരോധിക്കുന്നു.

ഇഷ്‌ടാനുസൃതമാക്കൽ:

• · 200 mm, 300 mm, അല്ലെങ്കിൽ ഇഷ്ടാനുസൃത വേഫർ വലുപ്പങ്ങൾക്ക് ലഭ്യമാണ്.
• · ഗ്യാസ് നോസൽ പാറ്റേണുകൾ: നേരായ, കോണുള്ള, അല്ലെങ്കിൽ വോർട്ടക്സ് തരങ്ങൾ
• · വസ്തുക്കൾ: അലുമിന (സ്റ്റാൻഡേർഡ്) അല്ലെങ്കിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (ഏറ്റവും ഉയർന്ന താപ ചാലകതയ്ക്കും വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധത്തിനും)
• · OEM ഡ്രോയിംഗ് അനുസരിച്ച് കൈ നീളം, മൗണ്ടിംഗ് ഫ്ലേഞ്ച്, ഗ്യാസ് പോർട്ട് സ്ഥാനം

പരിമിതികൾ:

ബെർണൂലി തത്വ നിർവ്വഹണം (നോസൽ ഡിസൈൻ, എയർ ഗ്യാപ്) നൽകിയിരിക്കുന്ന മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടി ടേബിളുകളുടെ പരിധിക്കപ്പുറമാണ്. മുകളിലുള്ള മെക്കാനിക്കൽ, തെർമൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ 99.8% Al₂O₃-നുള്ള നൽകിയിരിക്കുന്ന ഡാറ്റാഷീറ്റുകൾ കർശനമായി പാലിക്കുന്നു. ഈ മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടികളുടെ അടിസ്ഥാനത്തിൽ മർദ്ദത്തിലുള്ള വാതക പ്രവാഹത്തിന് കീഴിലുള്ള സെറാമിക്കിന്റെ പ്രകടന തകർച്ച പ്രതീക്ഷിക്കുന്നില്ല. വാതക പ്രവാഹത്തോട് സംവേദനക്ഷമതയുള്ള വേഫറുകൾക്ക് (ഉദാഹരണത്തിന്, ദുർബലമായ ഘടനകളുള്ള MEMS), വാതക മർദ്ദവും നോസൽ ഡിസൈനും അതനുസരിച്ച് ക്രമീകരിക്കണം.