പ്ലാസ്മ എച്ച് & സിവിഡി സിസ്റ്റങ്ങൾക്കുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിന ചേംബർ ഫോക്കസ് റിംഗ്

പ്ലാസ്മ എച്ച്, സിവിഡി, പിവിഡി സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു നിർണായക പ്രോസസ് കിറ്റ് ഘടകമാണ് സെന്റ് സെറാസ് ചേംബർ ഫോക്കസ് റിംഗ്. 99.8% ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി അലുമിന (Al₂O₃) ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച ഈ മോതിരം പ്ലാസ്മയെ പരിമിതപ്പെടുത്തുന്നതിനും അയോൺ കോണീയ വിതരണം ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിനുമായി വേഫർ എഡ്ജിനെ ചുറ്റിപ്പറ്റിയാണ് പ്രവർത്തിക്കുന്നത്, അതുവഴി വേഫർ ഉപരിതലത്തിലുടനീളം എച്ച് ഏകത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു. മെറ്റീരിയൽ അസാധാരണമായ പ്ലാസ്മ പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി (15×10⁶ V/m), 1600°C വരെ താപ സ്ഥിരത എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, ഇത് ആക്രമണാത്മക ഫ്ലൂറിൻ അല്ലെങ്കിൽ ക്ലോറിൻ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള പ്ലാസ്മ പരിതസ്ഥിതികളിൽ ദീർഘകാല വിശ്വാസ്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു. പ്രിസിഷൻ-ഗ്രൗണ്ട് ഐഡി/ഒഡി, ഫ്ലാറ്റ്നെസ് (≤10 μm) എന്നിവ കൃത്യമായ വേഫർ എഡ്ജ് പൊസിഷനിംഗ് പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, എഡ്ജ് വൈകല്യങ്ങളും കണികാ ഉത്പാദനവും കുറയ്ക്കുന്നു.

സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ(99.8% Al അടിസ്ഥാനമാക്കി�O₃):

അപേക്ഷകൾ:

• · ഡൈഇലക്ട്രിക് എച്ച് ചേമ്പർ ഫോക്കസ് റിംഗുകൾ (ഓക്സൈഡ്, നൈട്രൈഡ് എച്ച്)
• · സിലിക്കൺ എച്ച് ചേമ്പർ എഡ്ജ് റിംഗുകൾ
• · സിവിഡി ചേമ്പർ പ്രോസസ് കിറ്റ് വളയങ്ങൾ
• · പിവിഡി ചേമ്പർ ഷീൽഡും ക്ലാമ്പ് റിംഗുകളും

നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ:

ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടി ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് ആയി അമർത്തി → പച്ച മെഷീൻ ഉപയോഗിച്ച് നിയർ-നെറ്റ് ആകൃതിയിലേക്ക് മാറ്റുന്നു → 1600°C-ൽ സിന്റർ ചെയ്യുന്നു → ഐഡി, ഒഡി, കനം എന്നിവയുടെ സിഎൻസി ഡയമണ്ട് ഗ്രൈൻഡിംഗ് → ഫ്ലാറ്റ്‌നെസ് നേടുന്നതിന് ലാപ്പിംഗ് ≤10 μm → അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ് → 100% CMM പരിശോധന. ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra ≤0.4 μm കണിക അഡീഷൻ കുറയ്ക്കുന്നു.

ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണം:

• · 100% ഡൈമൻഷണൽ പരിശോധന (ഐഡി, ഒഡി, കനം, സമാന്തരത്വം)
• · മൈക്രോ-ക്രാക്കുകൾക്കുള്ള ഡൈ പെനട്രന്റ് ടെസ്റ്റ് (വിള്ളലുകൾ അനുവദനീയമല്ല)
• · 20× മൈക്രോസ്കോപ്പിന് കീഴിൽ ദൃശ്യ പരിശോധന - ചിപ്സ്, ശൂന്യത, അല്ലെങ്കിൽ നിറവ്യത്യാസം എന്നിവയില്ല.
• · ASTM D149 പ്രകാരം ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി പരിശോധന (സാമ്പിൾ)

സിലിക്കൺ അല്ലെങ്കിൽ ക്വാർട്സ് ഫോക്കസ് വളയങ്ങളെ അപേക്ഷിച്ച് ഗുണങ്ങൾ:

• · ഫ്ലൂറോകാർബൺ പ്ലാസ്മയിൽ 5–10× കൂടുതൽ ആയുസ്സ്
• · വേഫറുകളെ മലിനമാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കാവുന്ന മണ്ണൊലിപ്പ് കണികകൾ ഇല്ല.
• · ഉയർന്ന ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി ആർക്കിംഗ് തടയുന്നു
• · ആയിരക്കണക്കിന് RF മണിക്കൂറുകളിൽ പരന്നതും ഡൈമൻഷണൽ കൃത്യതയും നിലനിർത്തുന്നു.

ഇതര വസ്തു — യിട്രിയ-സ്റ്റെബിലൈസ്ഡ് സിർക്കോണിയ (ZrO�):

ഉയർന്ന ഫ്രാക്ചർ കാഠിന്യം ആവശ്യമുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് (ഉദാഹരണത്തിന്, ഇടയ്ക്കിടെയുള്ള തെർമൽ സൈക്ലിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ മെക്കാനിക്കൽ ഷോക്ക് ഉള്ള ചേമ്പറുകൾ), ZrO₂ ഫോക്കസ് റിംഗുകൾ (സാന്ദ്രത 6.03 g/cm³, ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി 1000 MPa, ഫ്രാക്ചർ കാഠിന്യം 5–8 MPa·m¹/²) ലഭ്യമാണ്. എന്നിരുന്നാലും, അലുമിന മികച്ച ചെലവ്-ഫലപ്രാപ്തി വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ മിക്ക ഫോക്കസ് റിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കും ഇത് വ്യവസായ നിലവാരമാണ്.

ഇഷ്‌ടാനുസൃതമാക്കൽ:

• · ഉപഭോക്തൃ ഡ്രോയിംഗ് അനുസരിച്ച് സ്റ്റെപ്പ് പ്രൊഫൈലുകൾ, കൗണ്ടർബോറുകൾ അല്ലെങ്കിൽ മൗണ്ടിംഗ് ഹോളുകൾ
• · പ്ലാസ്മ മണ്ണൊലിപ്പ് പ്രതിരോധം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനുള്ള Y₂O₃ കോട്ടിംഗ് (കനം 20–100 μm)
• · പാർട്ട് നമ്പർ, തീയതി കോഡ്, അല്ലെങ്കിൽ അലൈൻമെന്റ് മാർക്കുകൾ എന്നിവയുടെ ലേസർ അടയാളപ്പെടുത്തൽ

കുറിപ്പ്:എല്ലാ ഡാറ്റയും നൽകിയിരിക്കുന്ന Al₂O₃ പ്രോപ്പർട്ടി പട്ടിക കർശനമായി പാലിക്കുന്നു. ZrO₂ സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾക്ക്, നൽകിയിരിക്കുന്ന സിർക്കോണിയ ഡാറ്റാഷീറ്റ് കാണുക. ഫോക്കസ് റിംഗ് ഡിസൈനുകൾക്ക് പേറ്റന്റ് ക്ലിയറൻസ് ആവശ്യമായി വന്നേക്കാം - ബൗദ്ധിക സ്വത്തവകാശങ്ങൾ പരിശോധിക്കുന്നതിന് ഉപഭോക്താക്കൾ ഉത്തരവാദികളാണ്.