-
വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന സെറാമിക് റോബോട്ട് ആം
സെന്റ്.സെറയുടെ അലുമിന സെറാമിക് റോബോട്ട് ആം 99.8% ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള Al₂O₃ (അലുമിന) കൊണ്ടാണ് കൃത്യതയോടെ രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്. ഇത് അസാധാരണമായ വഴക്കമുള്ള ശക്തി (361 MPa), ഉയർന്ന കാഠിന്യം (16 GPa), കുറഞ്ഞ സാന്ദ്രത (3.93 g/cm³) എന്നിവ സംയോജിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് അർദ്ധചാലക വേഫർ കൈമാറ്റത്തിനായി ഭാരം കുറഞ്ഞതും എന്നാൽ കർക്കശവുമായ ആം നൽകുന്നു. മെറ്റീരിയലിന്റെ താപ വികാസ ഗുണകം (7.2×10⁻⁶/°C) സിലിക്കണുമായി അടുത്ത് പൊരുത്തപ്പെടുന്നു, പ്രോസസ്സിംഗ് സമയത്ത് താപ പൊരുത്തക്കേട് കുറയ്ക്കുന്നു.
-
ബെർണൂലി സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ — നേർത്തതും ദുർബലവുമായ വേഫറുകൾക്കുള്ള നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ
സെന്റ്.സെറാസ് ബെർണൂലി സെറാമിക് എൻഡ് എഫെക്ടർ, ഭൗതിക സമ്പർക്കമില്ലാതെ വേഫറുകൾ കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ എയറോഡൈനാമിക് ലിഫ്റ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള 99.8% അലുമിന (Al₂O₃) അല്ലെങ്കിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) എന്നിവയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ച ഇത്, എൻഡ് എഫെക്ടറിനും വേഫറിനും ഇടയിൽ ഒരു നേർത്ത എയർ ഫിലിം സൃഷ്ടിക്കുന്നതിന് പ്രഷറൈസ്ഡ് വാതകം പുറന്തള്ളുന്ന പ്രിസിഷൻ-മെഷീൻ ചെയ്ത നോസിലുകളുടെ സവിശേഷതയാണ്. ഈ നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് തത്വം ബാക്ക്സൈഡ് മലിനീകരണം, എഡ്ജ് ചിപ്പിംഗ്, ഉപരിതല കേടുപാടുകൾ എന്നിവ ഇല്ലാതാക്കുന്നു, ഇത് നേർത്ത (≤100 μm), ദുർബലമായ അല്ലെങ്കിൽ വളഞ്ഞ വേഫറുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. സെറാമിക് സബ്സ്ട്രേറ്റ് ഉയർന്ന വഴക്കമുള്ള ശക്തി (Al₂O₃-ന് 361 MPa; SiC-ക്ക് 550–600 MPa വരെ), കുറഞ്ഞ പിണ്ഡം, മികച്ച ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത എന്നിവ നൽകുന്നു, ഇത് ഹൈ-സ്പീഡ് വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ റോബോട്ടുകളിൽ ആവർത്തിക്കാവുന്ന സ്ഥാനനിർണ്ണയം ഉറപ്പാക്കുന്നു.
-
ടെഫ്ലോൺ കോട്ടഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ - സെൻസിറ്റീവ് വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള നോൺ-സ്റ്റിക്ക് സർഫസ്
സെന്റ്.സെറയുടെ ടെഫ്ലോൺ (PTFE) പൂശിയ സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ ഉയർന്ന ശക്തിയുള്ള അലുമിന സബ്സ്ട്രേറ്റിനെ ഒരു ഏകീകൃത, കുറഞ്ഞ ഘർഷണ PTFE കോട്ടിംഗുമായി (കനം 15–30 μm) സംയോജിപ്പിക്കുന്നു. കോട്ടിംഗ് വളരെ കുറഞ്ഞ ഘർഷണ ഗുണകം (≤0.1), മികച്ച രാസ പ്രതിരോധം, നോൺ-സ്റ്റിക്ക് ഗുണങ്ങൾ എന്നിവ നൽകുന്നു, ഇത് വേഫർ അഡീഷൻ തടയുകയും പിൻഭാഗത്തെ മലിനീകരണം ഇല്ലാതാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. അടിസ്ഥാന സെറാമിക് സബ്സ്ട്രേറ്റ് (99.8% Al₂O₃) ഉയർന്ന വഴക്കമുള്ള ശക്തി (361–1000 MPa), വസ്ത്ര പ്രതിരോധം, 260°C വരെ താപ സ്ഥിരത (കോട്ടിംഗ് പരിധി) എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ഈ എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ അതിലോലമായ, നേർത്ത അല്ലെങ്കിൽ സ്റ്റിക്കി വേഫറുകൾ കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ അനുയോജ്യമാണ് (ഉദാഹരണത്തിന്, ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് കോട്ടിംഗിന് ശേഷമോ രാസ പ്രക്രിയകൾക്കോ ശേഷം).
