ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ചേംബർ സീലിംഗിനുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന സെറാമിക് സീൽ റിംഗ്

എലാസ്റ്റോമറുകൾ വിഘടിക്കുന്ന അങ്ങേയറ്റത്തെ പരിതസ്ഥിതികളിൽ പോളിമർ O-റിംഗുകൾക്ക് പകരമായി സെന്റ് സെറയുടെ സെറാമിക് സീൽ റിംഗ് രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്നു. 99.8% ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി അലുമിന (Al₂O₃) ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച ഈ കർക്കശമായ സീൽ റിംഗ്, 800°C വരെയുള്ള താപനിലയിലും ആക്രമണാത്മക പ്ലാസ്മ അല്ലെങ്കിൽ കെമിക്കൽ പരിതസ്ഥിതികളിലും വിശ്വസനീയമായ വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ വാതക നിയന്ത്രണം നൽകുന്നതിന് സ്റ്റാറ്റിക് സീലിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു - സാധാരണയായി മൃദുവായ ലോഹവുമായോ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഗാസ്കറ്റുമായോ ജോടിയാക്കുന്നു. മെറ്റീരിയൽ സീറോ ഔട്ട്‌ഗ്യാസിംഗ്, ഉയർന്ന കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി (അടിസ്ഥാന ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി 361 MPa), കെമിക്കൽ ഇനർനെസ് (HF ഒഴികെ ഹാലോജനുകൾ, ആസിഡുകൾ, ക്ഷാരങ്ങൾ എന്നിവയെ പ്രതിരോധിക്കും) എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. കൃത്യതയുള്ള സീലിംഗ് ഉപരിതലങ്ങൾ (പരന്നത ≤5 μm, ഉപരിതല പരുക്കൻത Ra ≤0.2 μm) ഇണചേരൽ ലോഹവുമായോ സെറാമിക് ഘടകങ്ങളുമായോ ചോർച്ച-ഇറുകിയ സമ്പർക്കം ഉറപ്പാക്കുന്നു.

സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ(99.8% Al അടിസ്ഥാനമാക്കി�O₃):

അപേക്ഷകൾ:

• · സെമികണ്ടക്ടർ പ്രോസസ് ചേമ്പർ സ്റ്റാറ്റിക് സീലുകൾ (CVD, PVD, etch)
• · ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ഫർണസ് വാതിൽ സീലുകൾ
• · വാക്വം ഫീഡ്‌ത്രൂ ഫ്ലേഞ്ചുകൾ
• · കെമിക്കൽ റിയാക്ടർ പാത്രങ്ങൾ അടച്ചുപൂട്ടൽ

നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ:

അൾട്രാ-ഫ്ലാറ്റ്, മിനുസമാർന്ന സീലിംഗ് ഫെയ്‌സുകൾ നേടുന്നതിന് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ് → 1600°C-ൽ സിന്ററിംഗ് → പ്രിസിഷൻ ഡബിൾ-സൈഡ് ലാപ്പിംഗ് → എഡ്ജ് ചേംഫറിംഗ് → അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ്. ഒരു സ്റ്റാൻഡേർഡ് മെറ്റൽ ഗാസ്കറ്റ് ഉള്ള ഒരു ഹീലിയം ലീക്ക് ഡിറ്റക്ടറിൽ ഓരോ റിംഗും 100% ലീക്ക്-ടെസ്റ്റ് ചെയ്തിരിക്കുന്നു.

ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണം:

• · CMM ഡൈമൻഷണൽ പരിശോധന (ID, OD, കനം, സമാന്തരത്വം)
• · Ra, തരംഗദൈർഘ്യം എന്നിവയ്‌ക്കുള്ള ഉപരിതല പ്രൊഫൈലോമീറ്റർ
• · ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫ്ലാറ്റ് ഉപയോഗിച്ചുള്ള ഫ്ലാറ്റ്നെസ് അളക്കൽ
• · ഹീലിയം ചോർച്ച പരിശോധന (ബാക്ക്-പ്രഷറൈസേഷൻ രീതി)

പോളിമർ ഓ-റിംഗുകളേക്കാൾ ഗുണങ്ങൾ:

• · FFKM-ന് 800°C യും <300°C യും താങ്ങുന്നു
• · വാതക മലിനീകരണം ഇല്ല - വാക്വം പരിസ്ഥിതിയുടെ മലിനീകരണമില്ല.
• · എല്ലാ പ്ലാസ്മ കെമിസ്ട്രികളെയും (ഫ്ലൂറിൻ, ക്ലോറിൻ, ഓക്സിജൻ) പ്രതിരോധിക്കും.
• · കംപ്രഷൻ സെറ്റ് ഇല്ല അല്ലെങ്കിൽ സ്ഥിരമായ രൂപഭേദം ഇല്ല.
• · വൃത്തിയുള്ള ചുറ്റുപാടുകളിൽ പരിധിയില്ലാത്ത സേവന ജീവിതം

പരിമിതികൾ (നിർണായക പരാമർശങ്ങൾ):

• · ഒരു O-റിംഗ് അല്ല— ഇത് ഒരു ദൃഢമായ സെറാമിക് വളയമാണ്, അത് അടയ്ക്കാൻ മൃദുവായ ഒരു ഗാസ്കറ്റ് (ചെമ്പ്, അലുമിനിയം അല്ലെങ്കിൽ ഗ്രാഫൈറ്റ്) ആവശ്യമാണ്.
• · ഡൈനാമിക് ചലനമോ വലിയ ഫ്ലേഞ്ച് തെറ്റായ ക്രമീകരണമോ ഉൾക്കൊള്ളുന്നില്ല.
• · പോളിമർ O-റിംഗുകളേക്കാൾ ഉയർന്ന പ്രാരംഭ ചെലവ്, എന്നാൽ ദീർഘായുസ്സ് ഉടമസ്ഥാവകാശ ചെലവ് കുറയ്ക്കുന്നു.
• · പൊട്ടുന്ന - ശ്രദ്ധയോടെ കൈകാര്യം ചെയ്യുക; പോയിന്റ് ആഘാതമോ വളയുന്ന സമ്മർദ്ദമോ ഒഴിവാക്കുക.

കുറിപ്പ്:മുകളിലുള്ള ഡാറ്റ നൽകിയിരിക്കുന്ന Al₂O₃ പ്രോപ്പർട്ടി പട്ടികയെ കർശനമായി പിന്തുടരുന്നു. ഇലാസ്റ്റോമെറിക് മെറ്റീരിയലുകൾക്കുള്ള ഡാറ്റയൊന്നും നൽകിയിട്ടില്ല. ഈ ഉൽപ്പന്നം ഒരു സ്റ്റാറ്റിക് സീൽ റിംഗ് ആണ്, ഇലാസ്റ്റോമെറിക് O-റിംഗ് അല്ല. ഇത് നിങ്ങളുടെ ആപ്ലിക്കേഷൻ ആവശ്യകതകൾ പാലിക്കുന്നുണ്ടോ എന്ന് സ്ഥിരീകരിക്കുക.