വളഞ്ഞ വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള പോറസ് സെറാമിക് വാക്വം ചക്ക്
സെന്റ് സെറയുടെ പോറസ് സെറാമിക് ചക്ക് ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിനയിൽ നിന്നാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, 30–45% വരെ ഏകീകൃത തുറന്ന പോറോസിറ്റിയും 10 മുതൽ 100 μm വരെയുള്ള സുഷിര വലുപ്പവുമുണ്ട്. പരമ്പരാഗത ഗ്രൂവ്ഡ് ചക്കുകളിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമായി, പോറസ് ഉപരിതലം മുഴുവൻ വേഫറിന്റെ പിൻവശത്തും വിതരണം ചെയ്ത വാക്വം നൽകുന്നു, അരികുകൾ ഉയർത്തുകയോ പൊട്ടുകയോ ചെയ്യാതെ വളഞ്ഞതോ നേർത്തതോ സിംഗുലേറ്റഡ് വേഫറുകളെ ഫലപ്രദമായി പിടിക്കുന്നു. സൗമ്യമായ വാക്വം (റെസ്ട്രിക്റ്റർ വഴി ക്രമീകരിക്കാവുന്നതാണ്) ബാക്ക്സൈഡ് മാർക്കിംഗും തടയുന്നു.
സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ(99.6% Al അടിസ്ഥാനമാക്കി�O₃):
| പ്രോപ്പർട്ടി | വില |
| പോറോസിറ്റി | 30–45% |
| ശരാശരി സുഷിര വലുപ്പം | 10–100 μm (തിരഞ്ഞെടുക്കാവുന്നത്) |
| വഴക്കമുള്ള ശക്തി | ≥250 എംപിഎ |
| പരന്നത (300 മില്ലിമീറ്ററിൽ കൂടുതൽ) | ≤5 μm |
| ഉപരിതല ഫിനിഷ് | ലാപ്പ്ഡ് (Ra 0.8 μm) |
| പരമാവധി വാക്വം ലെവൽ | -80 കെ.പി.എ. |
| പ്രവർത്തന താപനില | 400°C (വായു), 600°C (നിഷ്ക്രിയം) |
| മെറ്റീരിയൽ | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, അല്ലെങ്കിൽ SiC |
അപേക്ഷകൾ:
നേർത്ത വേഫർ (≤50 μm) പിൻവശം പൊടിക്കൽ
ഡൈസിംഗിനായി വളഞ്ഞ വേഫർ മൗണ്ടിംഗ്
ടേപ്പിൽ നിന്നുള്ള സിംഗിൾ ഡൈ പിക്ക്-അപ്പ്
ഗ്ലാസ് പാനൽ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ
നിർമ്മാണവും ഗുണനിലവാരവും:
ഓർഗാനിക് പോർ ഫോർമറുകളുമായി കലർത്തിയ സെറാമിക് പൊടി → അമർത്തി → സിന്റർ ചെയ്തു → അന്തിമ കനത്തിൽ ലാപ്പ് ചെയ്തു. ഓരോ ചക്കും വാക്വം യൂണിഫോമിറ്റിക്ക് (≤5% വ്യതിയാനം) ഫ്ലോ-ടെസ്റ്റ് ചെയ്യുകയും പോർ സൈസ് ഡിസ്ട്രിബ്യൂഷനുവേണ്ടി (SEM) പരിശോധിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ലേസർ ഇന്റർഫെറോമീറ്റർ ഉപയോഗിച്ച് ഫ്ലാറ്റ്നെസ് അളക്കുന്നു.
ഗ്രൂവ്ഡ് ചക്കുകളെ അപേക്ഷിച്ച് ഗുണങ്ങൾ:
വേഫർ എഡ്ജ് മാർക്കിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ ഡൈ ഷിഫ്റ്റ് ഇല്ല
വളഞ്ഞ വേഫറുകൾ (500 μm വരെ വില്ല്) പിടിക്കുന്നു.
വാക്വം ഹോൾ ക്ലോഗിംഗ് ഇല്ലാതാക്കുന്നു
നേർത്ത അടിവസ്ത്രങ്ങൾക്കുള്ള സ്വയം-ലെവലിംഗ് പിന്തുണ
ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ:
വൃത്താകൃതിയിലോ ദീർഘചതുരാകൃതിയിലോ ഉള്ള ആകൃതികൾ, 600 മില്ലീമീറ്റർ വരെ വലിപ്പം. എഡ്ജ് സീലിംഗ് റിംഗുകളോ സോൺ വാക്വം പാർട്ടീഷനുകളോ നമുക്ക് പ്രയോഗിക്കാം. ഉയർന്ന കാഠിന്യ ആവശ്യങ്ങൾക്കായി മെറ്റൽ-ബാക്ക്ഡ് പതിപ്പുകൾ ലഭ്യമാണ്.
നിങ്ങളുടെ വേഫർ വലുപ്പത്തിനും വാർപേജ് പരിശോധനയ്ക്കും ഒരു സാമ്പിൾ അഭ്യർത്ഥിക്കുക.
